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高性能單晶硅諧振壓力傳感器

      高性能單晶諧振力傳感器,采用電磁激勵(lì)和電磁拾振方式輸出為頻率信號(hào), 抗干擾能力強(qiáng), 穩(wěn)定MD轉(zhuǎn)換 , 測(cè)絕壓測(cè)量, 精度0.1, 其量程可根據(jù)具體應(yīng)用需求通過調(diào)整制作工藝參數(shù)實(shí)現(xiàn)。 

      技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域該傳感器是壓力傳感器 中的一 種高端產(chǎn)品, 非常適用于一些特殊環(huán)境如航空、 航天、 氣象、 地 質(zhì)、 航海、 油井和工 業(yè)自動(dòng)化等領(lǐng)域中的壓力測(cè)量 。 該產(chǎn)品一旦研制成功, 將打破國外同類產(chǎn)品對(duì)我國的技術(shù)封鎖和感器傳感器芯片的壟斷 , 并填補(bǔ)我國此類傳感器產(chǎn)品的空白, 且國內(nèi)外的市場(chǎng)需求量都很大。 技術(shù)專業(yè)領(lǐng)域涉及微電子工藝、 微機(jī)械加工等技術(shù)領(lǐng)域。

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