技術(shù)概述：

高精度壓力傳感器采用先進(jìn)的換能機(jī)制，利用單晶 硅的良好機(jī)械特性，將壓力的作用應(yīng)力轉(zhuǎn)化為機(jī)械部件 的固有頻率并輸出。該傳感器主要采用以下幾項(xiàng)技術(shù)：

（1）采用基于雙諧振器的原位溫度自補(bǔ)償技術(shù)， 有效解決了傳感器的溫度漂移問題，實(shí)現(xiàn)了全溫區(qū) 0.01% FS 精度等級(jí)； 

（2）采用全溫區(qū)穩(wěn)幅閉環(huán)控制技術(shù)，有效降低了 傳感器的非線性誤差，結(jié)合溫度自補(bǔ)償技術(shù)，有效拓 展了傳感器溫區(qū)和提升了寬溫區(qū)精度； 

（3）傳感器采用圓片級(jí)的真空封裝技術(shù)，保證了傳 感器的綜合性能，有效抑制了傳感器的時(shí)間漂移問題。

技術(shù)指標(biāo)：

技術(shù)特點(diǎn)：

基于雙諧振器設(shè)計(jì)的高精度硅諧振壓力傳感器綜合精度高、分辨率高、穩(wěn)定性好、可靠性強(qiáng)、溫度跟隨性好、溫度范圍和測(cè)量范圍大、體積小、功耗低、成本低，能夠批量化制造。

先進(jìn)程度 ：

國際先進(jìn)。

技術(shù)狀態(tài) ：

小批量生產(chǎn)、工程應(yīng)用階段。 

適用范圍 ：

（ 1）航空大氣數(shù)據(jù)系統(tǒng)。軍用飛機(jī)的航空大氣數(shù)據(jù)系統(tǒng)采用綜合精度優(yōu)于 0.02%FS 的高精度壓力傳感器，用于測(cè)量飛機(jī)飛行的高度、速度、攻角等參數(shù)。
（ 2）工 業(yè) 控 制 領(lǐng) 域。 高 精 度 壓 力 傳 感 器 在 工業(yè)控制領(lǐng)域中常用于介質(zhì)壓力的測(cè)量或壓力基準(zhǔn)，其典型產(chǎn)品是數(shù)字壓力計(jì)、壓力控制器和壓力校準(zhǔn)儀。
（ 3）氣象領(lǐng)域。高精度大氣壓力傳感器作為氣壓測(cè)量的核心部件，廣泛應(yīng)用于國家和地方的氣象站、氣候站、農(nóng)業(yè)站等。

KSPS超高精度壓力變送器